詳細(xì)信息
SuperView W1 光學(xué)3D表面輪廓儀是一款用于對精密器件表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌的3D測量的光學(xué)檢測儀器。
SuperView W1 光學(xué)3D表面輪廓儀的操作較為簡便，操作人員將工件放置在載物臺上，調(diào)整載物臺使被檢測區(qū)域移動到物鏡下方，調(diào)整Z軸高度，直至軟件測量窗口出現(xiàn)干涉條紋，調(diào)節(jié)載物臺上水平傾斜旋鈕使視場內(nèi)出現(xiàn)1~2個干涉條紋，點(diǎn)擊按鈕進(jìn)行測量，光學(xué)物鏡開始對器件表面進(jìn)行掃描，軟件實(shí)時獲取圖像并在掃描結(jié)束后重建出3D圖像，操作者可在軟件的分析界面中對圖像進(jìn)行處理，獲取器件表面的線、面粗糙度、輪廓等2D、3D數(shù)據(jù)。
SuperView W1 光學(xué)3D表面輪廓儀采用光學(xué)非接觸式測量方法，它具有測量精度高、使用方便、分析功能強(qiáng)大、測量參數(shù)齊全等優(yōu)點(diǎn)，其光源模式保證了它能夠適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質(zhì)量檢測。
SuperView W1 光學(xué)3D表面輪廓儀廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝檢測、超精密加工、納米材料、光學(xué)加工、集成電路工藝檢測、汽車零部件、機(jī)器人、MEMS器件檢測、薄膜檢測、航空航天、科研院所等行業(yè)及領(lǐng)域中。可測各類從光滑到粗糙的物體表面，從納米到微米級別工件的輪廓、線粗糙度、面粗糙度，提供依據(jù)ISO/ASME/GBT國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)近百余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。
SuperView W1 光學(xué)3D表面輪廓儀技術(shù)指標(biāo)：
注：性能參數(shù)依據(jù)ISO 4287和ISO 25178在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下采用4.7µm臺階高標(biāo)準(zhǔn)塊測試。
光學(xué)規(guī)格表
2．儀器尺寸（長×寬×高）： 主機(jī)：590×600×790mm；
3．儀器主機(jī)重量：小于120Kg；
4．使用環(huán)境：無強(qiáng)磁場，無振動，無腐蝕氣體
工作溫度：15℃ ~ 30℃,溫度梯度<1℃/15分鐘
相對濕度：40-60%，無凝結(jié)
SuperView W1 光學(xué)3D表面輪廓儀的操作較為簡便，操作人員將工件放置在載物臺上，調(diào)整載物臺使被檢測區(qū)域移動到物鏡下方，調(diào)整Z軸高度，直至軟件測量窗口出現(xiàn)干涉條紋，調(diào)節(jié)載物臺上水平傾斜旋鈕使視場內(nèi)出現(xiàn)1~2個干涉條紋，點(diǎn)擊按鈕進(jìn)行測量，光學(xué)物鏡開始對器件表面進(jìn)行掃描，軟件實(shí)時獲取圖像并在掃描結(jié)束后重建出3D圖像，操作者可在軟件的分析界面中對圖像進(jìn)行處理，獲取器件表面的線、面粗糙度、輪廓等2D、3D數(shù)據(jù)。
SuperView W1 光學(xué)3D表面輪廓儀采用光學(xué)非接觸式測量方法，它具有測量精度高、使用方便、分析功能強(qiáng)大、測量參數(shù)齊全等優(yōu)點(diǎn)，其光源模式保證了它能夠適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質(zhì)量檢測。
SuperView W1 光學(xué)3D表面輪廓儀廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝檢測、超精密加工、納米材料、光學(xué)加工、集成電路工藝檢測、汽車零部件、機(jī)器人、MEMS器件檢測、薄膜檢測、航空航天、科研院所等行業(yè)及領(lǐng)域中。可測各類從光滑到粗糙的物體表面，從納米到微米級別工件的輪廓、線粗糙度、面粗糙度，提供依據(jù)ISO/ASME/GBT國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)近百余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。
SuperView W1 光學(xué)3D表面輪廓儀技術(shù)指標(biāo)：
| 光源 | 綠光LED | ||
| 影像系統(tǒng) | 1024×1024，（2048×2048可選） | ||
| 干涉物鏡 | 10×，（5×，20×，50×可選） | ||
| 光學(xué)ZOOM | 1×，（0.5×、0.75×可選） | ||
| 物鏡塔臺 | 單孔 | ||
| XY位移平臺 | 尺寸 | 200×200mm（可定制） | |
| 移動范圍 | 25×25mm | ||
| 負(fù)載 | 10kg | ||
| 調(diào)節(jié)方式 | 手動 | ||
| 水平調(diào)整 | ±4°，手動 | ||
|
Z軸 聚焦 |
行程 | 100mm | |
| 調(diào)節(jié)方式 | 電動 | ||
| Z向掃描范圍 | 100µm | ||
| Z向分辨率 | 0.1nm | ||
| *大掃描速度 | 30µm/s | ||
| 臺階測量 | 不確定度 | 重復(fù)性 | |
| 1% | 0.2% 1σ | ||
光學(xué)規(guī)格表
| 物鏡倍率 | 5× | 10× | 20× | 50× | ||
| 數(shù)值孔徑 | 0.13 | 0.3 | 0.4 | 0.55 | ||
| 光學(xué)分辨率@550nm（µm） | 2.1 | 0.92 | 0.69 | 0.5 | ||
| 焦深（µm） | 16.2 | 3.04 | 1.71 | 0.9 | ||
| 工作距離（mm） | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | ||
|
視場 H×V (mm) |
影像系統(tǒng) 1024×1024 |
0.5× | 1.92×1.92 | 0.96×0.96 | 0.48×0.48 | 0.192×0.192 |
| 0.75× | 1.28×1.28 | 0.64×0.64 | 0.32×0.32 | 0.128×0.128 | ||
| 1× | 0.96×0.96 | 0.48×0.48 | 0.24×0.24 | 0.096×0.096 | ||
|
影像系統(tǒng) 2048×2048 |
0.5× | 4.48×4.48 | 2.24×2.24 | 1.12×1.12 | 0.448×0.448 | |
| 0.75× | 3.22×3.22 | 1.61×1.61 | 0.805×0.805 | 0.322×0.322 | ||
| 1× | 2.24×2.24 | 1.12×1.12 | 0.56×0.56 | 0.224×0.224 | ||
3．儀器主機(jī)重量：小于120Kg；
4．使用環(huán)境：無強(qiáng)磁場，無振動，無腐蝕氣體
工作溫度：15℃ ~ 30℃,溫度梯度<1℃/15分鐘
相對濕度：40-60%，無凝結(jié)
